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洁净室工程在压差检测项目中，不能顺利建立压力梯度。这可能是风量不平衡造成的，具体原因可能是系统风阀工作不正常；系统漏风量过大；新风量不足；排风系统工作不稳定等。也可能是设计缺陷，分析原因有检测难定压差调节“零压点”;零压点”位置选择不合适，零点稳不住，波动太大等原因。此外负压洁净室的进出口未设缓冲间也可能造成压力梯度不能顺利建立。
洁净室工程车间在冬季检测相对湿度产生偏低问题，可能是因为加湿器选型错误，这主要可能是热力学工况为等温加湿型选成等焓加湿型 。采用水加湿(等焓加湿)方法时，加湿前空气要加热到30C以上，方能完成加湿目的。或者加湿器失灵，失灵原因可能是结水垢、电气故障等原因。
净化风量不够，分析原因可能是单向流空气过滤器出口断面风速偏小，非单向流换气次数太少。也可能是空气过滤器少装、堵塞、渗漏，这些我们可以通过扫描”诊断 。还有末端过滤器效果有问题，看看是不是高效过滤器 。此外回风有问题可能造成洁净度不达标，分析原因为回风口设置位置不合理，各点回风阻力偏差太大设计弊端导致气流组织失调。这就需要调整架空地板开孔率。如果洁净室内正压不足，甚至出现负压，包括进出洁净室人员都可能对洁净度产生影响。
洁净车间在检测相对湿度时容易出现一些问题，尤其是夏季湿度偏高，可能是因为表冷器空调冷冻水供水温度偏高，不能满足空调冷冻温度低于空气处理的机器露点0.7°C以上的热力学要求。或者是表冷器换热效果差，产生结垢、结构缺陷、换热面积不足，设计缺陷可能是将—二级表冷系统设计成一级表冷系统等。此外也可能是除湿方法选择不当造成，当相对湿度<40%时，冷冻去湿已不能满足要求，需采用化学去湿。
